蒸发坩埚

蒸发坩埚内衬 - Evaporation Crucible and liner

提供各种容量，材质，形状的蒸发坩埚和内衬。

金属坩埚，PBN，Al2O3，AlN，玻璃碳，热解石墨等。

热解氮化硼属于特种陶瓷材料，热解氮化硼的沉积过程宛如落雪，氮化硼的六角形雪片，一片片平行的落到基体材料表面，达到一定厚度后脱落成膜。

热解氮化硼坩埚材料特点：

纯度高达99.999%，密度可达2.22g/cm^3，表面致密，低逸气率，耐高温，且强度随温度升高而升高，2200℃达到极值；

耐强酸，碱以及有机腐蚀剂，高温下与大多数金属、半导体不浸润，也不反应；

电阻高，介电强度大，介电常数小，具有良好的透微波和红外光特性；

抗热震性好，热导率高，热膨胀系数低，在力学，热学和电学等性能上有着明显的各向异性；

氧化铝陶瓷具有优异的电绝缘特性，是应用最为广泛的陶瓷材料之一，我们可根据应用场景的不同，为您选择合适的氧化铝陶瓷材料。

氧化铝坩埚材料特点：

纯度高；

高绝缘特性；

耐等离子体刻蚀；

耐高温特性好；

耐急冷急热效果好；

氮化铝陶瓷具有良好的导热性能，电绝缘性及与硅材料具有接近的热膨胀系数，被广泛应用于要求具有散热性的零件和半导体装备零件。

氮化铝坩埚材料特点：

纯度高，耐高温，机械强度高；

热导率高，热膨胀系数低；

高绝缘性，介电常数小；

对融熔金属有良好的耐腐蚀性；

热解石墨是新型的碳素材料，采用CVD方法制备，具有高密度，高纯度，低逸气率，高温化学惰性等优异特点。

热解石墨坩埚材料特点：

纯度高，逸气率低；

耐高温，化学性质稳定；

抗热震性好，热导率高，高温下不与熔融金属反应；

密度低，使用寿命高；