氦气校准漏孔 - Helium Calibration Leak
校准漏孔家族中,通常分为两大类。根据其制作原理可以分为通道型漏孔,既: CHL (Channel mode helium leak) 和渗氦型漏孔,既:PFL (Permeation film mode helium leak)。通道型漏孔一般采用石英材质毛细管或 金属压扁式毛细管作为氦气泄漏通道。通道型漏孔在数据准确性和更结实方面具有先天的优势,主要得益于其原 理上的温漂小,对环境温度影响很小和不怕一般性的磕碰,更适于工业的使用环境。通道型漏孔通常用于氦检仪的校准和检漏系统及各种真空系统的调校。标准的通道漏孔默认为不锈钢钢瓶/定制铝制气瓶,阀门采用 Teflon 密封阀门或氟胶密封阀门-用于关闭和打开阀门调节置 零型号和相应量级氦气信号的调整。标准的通道漏孔不能用于 烘烤需求的应用场景。特殊用途漏孔 CHL-SP (Channel mode helium leak with Special Usage)的材质采用全焊接不锈钢结构,阀门同样采用 高品质金属密封材质,金属压扁式毛细管作为氦气泄漏通道,可 用于烘烤场景用途的超高真空应用。
类型
| 泄露因子 | 优点 | 缺点 |
CHL通道型
| 石英材质毛细管
| 漏率范围:10^-4 - 10^-10 结实耐用 温度漂移小,对温度要求低
| 成本高 不装阀门的时候容易堵塞 不可烘烤
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CHL通道型 | 金属压扁毛细管
| 漏率范围:10^-4 - 10^-9,特定漏率范围:10^-5 - 10^-6 可烘烤至超高真空 结实耐用
温度漂移小,对环境要求低 | 成本很高 不装阀门的时候容易堵塞
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PFL渗氦型 | 玻璃材质 | 漏率范围:10^-6 - 10^-11,特定漏率范围:10^-7 - 10^-8 渗透模式耐堵塞能力强 成本优势
| 怕磕碰,容易损坏 温度敏感,温度漂移严重
不可烘烤 |