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He检漏仪

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  • 产品说明

紧凑一体型检漏仪


性能参数

单位指标
最小可检漏率（He4真空法）Pa·m^3/s
5 × 10^-13
最小可检漏率（He4吸入法）Pa·m^3/s5 × 10^-9
响应时间s< 0.5
启动时间s< 180
分子泵抽速（He）l/s2.5 （Hicube 80）
前级泵抽速l/s
0.5 （油泵）
可检气体
He4/He3/H2
测量单位

Pa·m^3/s 、mbar·l/s 、Torr·l/s 、PPm

离子源

氧化钇铱丝(两根)

质谱分析室

180°非均匀磁偏转质谱通道

校准漏孔

通道型10^-7 mbar·l/s(内置漏孔)

通讯接口

RS232/IO
语言
中文/英文/俄语
工作环境要求

温度 5~40°C 湿度 ≤80%
供电电源V交流，单相220± 10
检漏仪尺寸mm600 × 397 × 376
重量kg40


附抽双阀体大抽速一体化推车款


性能参数

单位指标
最小可检漏率（He4真空法）Pa·m^3/s
5 × 10^-13
最小可检漏率（He4吸入法）Pa·m^3/s5 × 10^-9
响应时间s< 0.5
启动时间s< 180
分子泵抽速（He）l/s2.5 （Hicube 80）
前级泵抽速l/s
8、4  （干泵）6（油泵）
可检气体
He4/He3/H2
测量单位

Pa·m^3/s 、mbar·l/s 、Torr·l/s 、PPm

离子源

氧化钇铱丝(两根)

质谱分析室

180°非均匀磁偏转质谱通道

校准漏孔

通道型10^-7 mbar·l/s(内置漏孔)

通讯接口

RS232/IO
语言
中文/英文/俄语
工作环境要求

温度 5~40°C 湿度 ≤80%
供电电源V交流，单相220± 10
检漏仪尺寸mm974 × 550 × 1026
重量kg115


大抽速多组合推车式


性能参数

单位指标
最小可检漏率（He4真空法）Pa·m^3/s
5 × 10^-13
最小可检漏率（He4吸入法）Pa·m^3/s5 × 10^-9
响应时间s< 0.5
启动时间s< 180
分子泵抽速（He）l/s2.5 （Hicube 80）
前级泵抽速l/s
8、4  （干泵）6（油泵）
可检气体
He4/He3/H2
测量单位

Pa·m^3/s 、mbar·l/s 、Torr·l/s 、PPm

离子源

氧化钇铱丝(两根)

质谱分析室

180°非均匀磁偏转质谱通道

校准漏孔

通道型10^-7 mbar·l/s(内置漏孔)

通讯接口

RS232/IO
语言
中文/英文/俄语
工作环境要求

温度 5~40°C 湿度 ≤80%
供电电源V交流，单相220± 10
检漏仪尺寸mm869 × 406 × 926
重量kg98
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